國產(chǎn)光刻膠通過量產(chǎn)驗證 武漢太紫微公司攻克關(guān)鍵技術(shù)

長江商報消息 ●長江商報記者 李璟

中國光谷誕生重大科技成果，湖北企業(yè)在半導(dǎo)體專用光刻膠領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)重大突破。

日前，武漢太紫微光電科技有限公司（簡稱太紫微公司）在全國率先攻克合成光刻膠所需的原料和配方，我國芯片制造關(guān)鍵原材料取得瓶頸性突破。該公司推出的T150A光刻膠產(chǎn)品，已通過半導(dǎo)體工藝量產(chǎn)驗證，實現(xiàn)配方全自主設(shè)計，有望開創(chuàng)國內(nèi)半導(dǎo)體光刻制造新局面。

從性能來看，該產(chǎn)品對標國際頭部企業(yè)主流KrF光刻膠系列，相較于國外同系列產(chǎn)品UV1610，T150A在光刻工藝中表現(xiàn)出的極限分辨率達120nm，且工藝寬容度更大，穩(wěn)定性更高，堅膜后烘留膜率優(yōu)秀。

長江商報記者注意到，太紫微公司成立至今不到5個月時間。天眼查顯示，太紫微公司成立于2024年5月31日，地址位于武漢光谷，是一家以從事研究和試驗發(fā)展為主的企業(yè)，企業(yè)注冊資本200萬元。公司法定代表人為朱明強，持股比例40%，最終受益股份77%。

根據(jù)華中科技大學(xué)官網(wǎng)，朱明強為華中科技大學(xué)武漢光電國家研究中心二級教授，光學(xué)與電子信息學(xué)院雙聘教授，主要研究領(lǐng)域為有機及納米光電子學(xué)，研究方向包括熒光分子開關(guān)合成與應(yīng)用、有機光電材料與器件。朱明強于2018年入選英國皇家化學(xué)學(xué)會會士，近五年來主要從事熒光分子開關(guān)合成及超分辨顯微成像、聚集誘導(dǎo)發(fā)光、光刻膠，以及先進能源材料和器件等項目的相關(guān)研究。

這意味著，太紫微公司的背后，有著華中科技大學(xué)武漢光電國家研究中心團隊的強力支撐。

武漢光電國家研究中心是科技部于2017年批準建設(shè)的第一批、也是唯一一批6個國家研究中心之一，其前身為2003年獲批的武漢光電國家實驗室。該團隊主攻關(guān)鍵光刻膠底層技術(shù)研發(fā)，已在電子化學(xué)品領(lǐng)域深耕20余年。

本次太紫微公司推出的T150A光刻膠產(chǎn)品，堪稱業(yè)界的一顆新星。太紫微公司負責(zé)人朱明強表示，這是我國首次攻克合成光刻膠所需原料和配方，對我國逐步改變在集成電路領(lǐng)域的受制現(xiàn)狀具有重大意義。不過從原材料開發(fā)起步，最終獲得自主知識產(chǎn)權(quán)的配方技術(shù)，這僅僅是初步成果。未來團隊還將研發(fā)一系列適用于不同場景的KrF與ArF光刻膠，為國內(nèi)相關(guān)產(chǎn)業(yè)帶來更多創(chuàng)新與突破。

責(zé)編：ZB